Kisaran spektrum dari FUV ke NIR: 190-2100nm

UVISEL PlusSpektrometer Polarisasi ElipsMenyediakan kombinasi yang dioptimalkan dari modularitas dan kinerja untuk karakterisasi film, permukaan, dan antarmuka.

UVISEL Plus sebagai salah satuModel elips klasik untuk akurasi, sensitivitas, dan stabilitasIni menggunakan teknologi modulasi fase PEM, yang memberikan stabilitas dan rasio sinyal-noise yang lebih baik dibandingkan dengan teknologi komponen berputar mekanis.Spektrum berkisar dari 190nm hingga 2100nm.

UVISEL Plus diintegrasikan dengan FastAcq baruTMteknologi pengambilan cepat,Pengujian sampel resolusi tinggi dalam waktu kurang dari 3 menit (190-2100 nm)Kalibrasi hanya membutuhkan beberapa menit. Berdasarkan perangkat elektronik baru, pemrosesan data dan monochrometer kecepatan tinggi, teknologi FastAcq dapat memberikan pengguna dengan resolusi tinggi dan pengambilan data yang cepat. FastAcq dirancang untuk karakterisasi film tipis,Teknologi modulasi gandaAnda dapat memastikan Anda mendapatkan hasil tes yang sangat baik.

Teknologi modulasi fase ditandai dengan modulasi frekuensi tinggi 50 kHz, tanpa komponen bergerak dalam proses pengambilan sinyal:

• menguji berbagai sudut elips, Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• Rasio sinyal-noise yang sangat baik dari FUV ke NIR
• Kecepatan pengambilan data hingga 50 ms/titik yang ideal untuk penelitian dinamika dan pengukuran online

Dibandingkan dengan adopsiSpektrometer Polarisasi Elips Tradisional untuk Modulasi Komponen Rotasi， Mode modulasi fase untuk UVISEL PlusSensitivitas dan akurasi yang lebih tinggi dalam karakterisasi film tipisTidak hanya dapat mendeteksi film atau antarmuka yang sangat tipis yang tidak dapat diamati oleh ellipsometer lain, tetapi juga dapat menandai film tebal 50 µm.

Terdapat refleksi belakang dalam ujian.Saat sampel transparan, pengujian sederhana dan akurat,Tidak perlu menggores bagian belakang.

UVISEL Plus juga dirancang dengan berbagai aksesoris dan fitur opsional yang memungkinkan pelanggan memilih konfigurasi yang tepat sesuai dengan kebutuhan aplikasi dan anggaran. Misalnya, bintik mikro digunakan untuk sampel pola, transformator sudut otomatis, meja sampel otomatis, dll.

UVISEL Plus memiliki desain modular yang fleksibel untuk skala. Bisa digunakan secara offlinePengukuran desktopJuga dapat dikombinasikan dengan peralatan pelapis untuk pemantauan online.

UVISEL Plus dapat memilih antarmuka operasi sesuai dengan kebiasaan.DeltaPsi2Memiliki fungsi pemodelan dan pengolahan yang sesuai; Yang lain adalah antarmuka pengujian sampel otomatis penuh berorientasi pengguna Auto-Soft yang memiliki alur kerja yang intuitif dan mudah dioperasikan oleh non-profesional.

UVISEL Plus dengan teknologi FastAcq adalah pilihan utama di bidang penelitian dan pengolahan bahan, layar datar, mikroelektronik dan fotovoltaikSpektrometer Ellipsometer Umum.

UVISEL PlusIni adalah alat yang ideal untuk penelitian ilmu bahan.