Meter aliran massa cerdas Pengontrol aliran volume kecil Meter aliran massa gas panas
Penggunaan & Fitur
Pengontrol aliran massa (singkatan MFC) digunakan untuk mengukur dan mengendalikan aliran massa gas dengan presisi. Mereka memiliki peran penting dalam penelitian dan produksi dalam industri semikonduktor dan sirkuit terpadu, disiplin bahan khusus, industri kimia, dan banyak bidang industri, farmasi, dan lampu vakum. Aplikasi khasnya termasuk: peralatan proses elektronik, seperti difusi, ekstensi, CVD、 Oksidasi, pengoresan plasma, sputtering, injeksi ion; Dan peralatan pelapis, peleburan serat optik, perangkat mikroreaksi, sistem distribusi gas campuran, pengukuran kapiler, kromatogram gas dan instrumen analisis lainnya.
Indikator Teknis Utama
Kisaran pengukuran (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Akurasi +1,5% F.S.
Linear +0,5 ~ 1,5% FS
Akurasi pengulangan +0.2% F.S.
Waktu tanggapan 10sec Karakteristik gas: (1 ~ 4) sec
Perbedaan tekanan kerja 0.1 ~ 0.5MPa
Tahan tekanan 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Suhu lingkungan kerja 0 ~ 70 ℃
Jumlah Digital RS485 MODBUS Protocol
Kualitas analog DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opsional
Karakteristik listrik: SLM
Pasokan listrik DC + 15V / 24V opsional, flowmeter <50mA, controller <200mA
Koneksi listrik DB15
Kebocoran 1×10 SCCSHe
Bahan dasar 316L stainless steel
Bahan segel Karet fluoride, karet butanin, neoprene
Sambungan jalur udara Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Catatan: Pengatur aliran massa dan pengontrol aliran massa di pabrik biasanya dikalibrasi dengan nitrogen (N₂).
Unit aliran massa ditentukan sebagai: SCCM (standar ml / min); SLM (liter/menit standar)
Meter aliran massa cerdas Pengontrol aliran volume kecil Meter aliran massa gas panas